泛林集团干式光刻胶技术通过imec认证，开启半导体工艺新篇章IT之家报道，泛林集团LamResearch于美国加州当地时间本月14日宣布了一项重大技术突破——其创新的干式光刻胶技术成功通过了imec认证，这一突破性的技术成果意味着半导体制造领域向前迈进了一大步，直接在逻辑半导体后道工艺中实现28纳米间距的直接图案化，并满足2纳米及以下...。
更新时间：2025-01-26 15:56:40
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